罗茨泵/干式螺杆泵真空抽吸系统
详细描述
【产品描述】
该系统在高真空工况下也能保持很大的抽速，运行时无需油、水和其它密封工作液。抽速高达10,000CFM（17000m3/h），真空度高达10microns或更高。
提供整套工程系统解决方案，包括KINNEY ® K**或SDV真空泵、罗茨真空泵、电机、直接驱动或V型皮带驱动、冷却液循环系统、仪器仪表、控制装置、管路和阀门。
【典型应用】
1、化工和**流程
2、半导体流程
3、溶剂回收
4、成型
5、结晶
6、干刻
7、溅镀
8、蒸气回收
9、高空模拟